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2024.11.06丨什么是SiC功率元器件
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2024.10.30丨SiC单晶衬底加工技术
SiC单晶是一种硬而脆的材料,切片加工难度大,磨削精度要求高,因此晶圆制造是一个长时间且难度较高的过程。本文介绍了几种SiC单晶的切割加工技术以及近年来新出现的晶圆制备方法。将通过升华法制备的SiC单晶从坩埚中取出,经过多个加工工艺制成晶圆......
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