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实现载盘在工序间的缓冲、暂存与人工复检功能，提供平稳的载盘流转与灵活的人机交互模式。
特色功能
一键切换两种工作模式
支持载盘信息读取与记录
支持与前后工序联动呼叫
技术参数
设备尺寸
≤600×900×930mm
设备重量
≤100kg
有效宽度
50–300mm（可调）
设备电压
220V
功率半导体
光模块
先进封装
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